不同類型真空鍍膜對(duì)溫度控制冷水的要求

真空鍍膜工作原理是膜體在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜體分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無光，所以必須在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮，果如真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤結(jié)合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發(fā)體自然散射，結(jié)合差工效低光澤差?，F(xiàn)在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發(fā)分子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜，解決了過去自然蒸發(fā)無法加工的膜體品種，如鍍鈦鍍鋯等等。

中頻設(shè)備必須加冷卻水，原因是它的頻率高電流大。電流在導(dǎo)體流動(dòng)時(shí)有一個(gè)集膚效應(yīng)，電荷會(huì)聚集在電導(dǎo)有表面積，這樣使電導(dǎo)發(fā)熱所以采用中孔管做導(dǎo)體中間加水冷卻。

（主要是圓柱靶）為什么也要用水冷卻？磁控濺射靶在發(fā)射時(shí)會(huì)產(chǎn)生高溫會(huì)使射槍變形，所以它有一個(gè)水套來冷卻射槍。同時(shí)還有一個(gè)重要原因磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結(jié)合力好。

從更深層次研究電子在非均勻電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)規(guī)律 ,探討了磁控濺射的更一般原理以及磁場(chǎng)的橫向不均勻性及對(duì)稱性是磁約束的本質(zhì)原因。磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結(jié)合力好、裝置性能穩(wěn)定。

另外根據(jù)鍍膜機(jī)種類和加工產(chǎn)品不一樣，對(duì)冷水的要求也會(huì)不一樣，普通材料蒸發(fā)選用冷卻水塔水溫在30℃左右的就可以使用，如果涉及硬質(zhì)件件溫度會(huì)要求在15-25℃。就必須要使用上冷水機(jī)這一塊

還有一種情況低溫冷阱的應(yīng)用是在輔助抽氣系統(tǒng)真空鍍膜的排氣系統(tǒng)采用的是由擴(kuò)散泵、機(jī)械泵、羅茨泵、低溫冷阱、等部分組成低溫冷阱也是不可或缺的一部分

1、如果鍍膜機(jī)用的是擴(kuò)散泵的話，一般泵口回加一套冷阱，用于捕捉油分子。這種制冷不需要加熱回溫，可以用一般的冷凍機(jī)（-20°左右）或者深冷（-140°左右）。

2、如果鍍膜機(jī)想提高抽速的話，一般要加帶回溫裝置的深冷，。抽氣時(shí)制冷，箱體放氣前回溫。

3、還有一種情況卷繞鍍膜，薄膜鍍鋁的時(shí)候要制冷，到-15°左右，放氣前要回溫到室溫。

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